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雙焦干涉球面微觀輪廓儀是利用雙焦偏振共光路干涉及電子共模抑制技術設計的新型表面輪廓儀。

本儀器具有分辨率高，抗干擾能力強，無需專門參考面，能自動掃描采樣并顯示表面二維輪廓及數(shù)據(jù)等優(yōu)點，是目前國內外首次研制成功的能用于各種球面輪廓非接觸檢測的精密儀器。

經(jīng)實測，本儀器的縱向分辨率可達 0.1mm數(shù)量級，橫向分辨率小于2mm，曲率半徑范圍為 ±R5～±30，達到了目前國際先進水平，能滿足大部分顯微物鏡及其它球面的表面輪廓測量。可廣泛應用于光學行業(yè)，精密機械行業(yè)及相關科研部門的球面輪廓的精密檢測。http://www.huiyuan888.cn